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光柵式位移傳感器

光柵式位移傳感器是利用計量光柵的莫爾條紋現(xiàn)象進行位移測量的，主要由光源、標尺光柵、指示光柵和光電器件等部件組成，光電器件接收到莫爾條紋光強信號經(jīng)電路處理后可得到兩光柵的相對位移。測量范圍為0.001~10m；測量精度達到0.2~1μm/m；優(yōu)點是測量精度高、量程大、響應快、輸出為數(shù)字量、易于實現(xiàn)數(shù)字化測量和自動控制、具有較高的抗干擾能力、可實現(xiàn)動態(tài)測量等；缺點是對環(huán)境要求高、成本高、當自身膨脹系數(shù)與被測量物體不一致時，易造成測量誤差等。